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大规模集成电路(IC)应用
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可以制作覆盖0.13um工艺节点以上,最小图形精度+/-20nm,图形位置精度和套刻精度 +/-15nm
高端功率半导体(含第三代半导体)应用
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覆盖IGBT(绝缘栅双极型晶体管)、MOSFET(绝缘栅型场效应管)、晶闸管、整流器等各种功率半导体器件以及电源管理芯片。
先进芯片封装(CSP)应用
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龙图可提供覆盖6吋、8吋、12吋晶圆级封装(Wafer Level Package)用掩模版,掩模版尺寸包括6/9/14英寸。
传感器(MEMS) 应用
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龙图可以提供各种应用场景的MEMS(微型电子机械系统 Micro-Electro Mechanical System),MEMS芯片尺寸更小,最大的不超 过一个厘米,甚至仅仅为几个微米,对应掩模版尺寸和类别更多,龙图可以提供3英寸以上及各种定制的MEMS应用掩模版。
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