类别

苏打基材

石英基材

常规尺寸(mm)

3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”

450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm

最大尺寸(mm)

850*1200

特殊尺寸(mm)

按客户要求定做（XY=20~609mm）

基材厚度(mm)

1.6  2.3　3.0  4.8   7.8   8.0

2.3  3.0  5.0    6.4    8.0

铬膜类型

　　　ARC Anti-Reflective Chrome

热性能（℃）

710℃

1730℃

温度收缩系数

8.1*10ˉ6(20~200 ℃)

5.0*10-7 /℃ (20~200℃)

透过率

>90%(T=2.3mm；l=400nm）

>90%(T=2.3mm；l=200nm）

折射率

1.52

1.46

垂直入射反射率

约8%（片面反射约4%）

约2%（片面反射约1%）

耐酸性能

H2SO4(80℃,99%) 0.1Å/min

H2SO4(80℃,98%) 0.0Å/min

耐碱性能

NaOH（Wt2%）0.8Å/min

NaOH（Wt2%）0.4Å/min

表面平整度

<20um（400*400*3.0mm)