1. 铬版为硬掩模版,为防止其变形,需要竖直存放。为了保证掩模版表面的洁模度,一般要保存在1000级以上的无尘室内,温度:20~26℃,湿度需维持在40-60%RH,静电电压控制在500伏以内。常用的存放方式有两种:
(1).存放架 或者 存放柜,有几点要求:
-- 用于存放产品的架子最好用硬度较低,而且净化的材料;
-- 用金属做则可能引起碰撞时会造成破裂、崩边、崩角等缺陷;
-- 不但间隔要适当,在存放时尺寸不同的版的次序也要适当,以便于存取;
-- 产品存放架最好能带一个高效FFU净化设备,确保存放环境的净化度。
(2) .包装净化盒存放:
-- 最好用标准尺寸的专用净化盒;
-- 每一盒的数量要适当,便于存储和搬运;
-- 长时间不使用时,请用胶布密封保存;